LED LEDAXIAL WASTning o'sish jarayonining qaysi jihatlari e'tiborni jalb qilishi kerak?

1. Substratga tayyorgarlik:Substrat epitaxial o'sish uchun yaxshi poydevor berish uchun substrat toza va kamchiliklardan xoli ekanligiga ishonch hosil qiling.

2. O'sish muhitini oshirish:O'sish palatasining harorati va gaz oqimini o'zgartirish, o'sish uchun munosib muhitni yaratish.

3. Reaktiv gazni kuzatish:reaktiv gazlarni (masalan, kremniy tetraxlorid, kremniy traxoblonohid, kremniy va boshqalar), epitracial qatlamning turg'unligi va chidamliligini boshqarish uchun tanishtiring.

4. Kimyoviy reaktsiya va o'sish:Yuqori harorat sharoitida, reaktiv gazlar bitta kristalli qatlamni shakllantirish uchun panjara tuzilmasiga muvofiq substrat yuzasida o'rnatiladi.

5. Sovutish va olib tashlash:Epitaxial qavat xona haroratiga sovutadi va reaktsiya kamerasidan olib tashlanadi.