Epitracial tanzuv jarayonida qanday qadamlar bor?
Xabar QOLDIRISH
Opitaxial anjir o'sishi yarimo'tkazgich komponentlari va chiplarini tayyorlashning muhim jarayonlaridan biridir, bu jarayon odatda quyidagi bosqichlarni o'z ichiga oladi:
1. Substratga tayyorgarlik:Silikon, sapfir va boshqa bitta kristalli substrat kabi talablarga javob beradigan talabnomalarni tanlang, substrat sirt tekis va toza ekanligini ta'minlash uchun substrat tozalanadi.
2. Sifat sinovlari:Substratning sifati va bajarilishi parametrlarini aniqlash uchun panjara konstantalari, kristalli tekislik, sirtli yo'naltirish, sirtli yo'naltirish, sirtli yo'naltirish, sirtli yo'naltirishlar va boshqa testlar kabi substrat bo'yicha muntazam sinov o'tkazish.
3. Epitaxial manbaning moddiy tayyorgarligi:Manba materialini epitraal reaktorga qo'shing va harorat ko'tarilishi, haroratning barqarorligi va boshqa sharoitlar orqali materialning kristalli o'sishini nazorat qiladi.
Materialning kristalli o'sishi yuqori sifatli epitaxial gofr olish uchun haroratning kuchayishi va harorat barqarorligi sharoitida boshqariladi.
4. O'sish jarayoni:Substrat muayyan sharoitlarda reaktorga joylashtiriladi va o'ziga xos moddalar va gazlarni etkazib berish orqali, substrat yuzasida yangi kristalli yuzlarini (epitaxial qatlam) etishtirish uchun tayyorlanadi va kerakli hajmga ega bo'lish uchun o'rnatiladi.
5. Tekshirish davolash:Epitaxial o'sishni tugatgandan so'ng, reaktor sovib ketadi, so'ngra epitragial gofdir, er yuzidagi nopoklik va kamchiliklarni tezda olib tashlash va tezda olib tashlanadi.
6. O'lchash va sinov:Rayzral test, lazerni tahlil qilish, elektr sinovi va boshqalar kabi epitraciyal terini o'lchash va sinovdan o'tkazish, ular epitragial votamning sifati va ishlash indekslari talablarga javob berishini ta'minlash.
7. Qayta ishlash:Tekshirish, etchlash, fotolitografiya va boshqa jarayonlar, so'ngra mikroelektron komponentlar va chiplar ishlab chiqariladi.
Shuni ta'kidlash kerakki, epitracal gever o'sish jarayoni murakkab va nozik jarayon bo'lib, masalan, substrat materiali, o'sish sharoitlari, epitramasining sifati, epitramasining sifati va ishlashini ta'minlashi kerak. epitracyondan.
