LED Chip ishlab chiqarish jarayoni nimani o'z ichiga oladi?

1. Photolitografiya chip ishlab chiqarishdagi aniq to'qishning kalitidir. Fotolitografiya orqali ishlab chiqarilgan chip tutqich naqshini epitraclialını vozirkaga o'tkazilishi mumkin. Masalan, fotorezist ultrabinafsha nuri va ta'sir qilish va boshqa bosqichlardan so'ng, aniq elektrodlar, faol joylar, faol joylar va boshqa tuzilmalar paydo bo'ladi. Litografiyaning aniqligi nanometr darajasiga etib borishi mumkin, bu yuqori samarali miniatyurizatsiyalangan LED chiplarini ishlab chiqarish uchun juda muhimdir.

2. Etching jarayonlar materialining kiruvchi qismlarini olib tashlash uchun ishlatiladi. Masalan, plazma etching orqali litografiyadan so'ng chipning o'ziga xos tuzilishini, masalan, stol tuzilishi va hk. Chip ichidagi engil ajratish funktsiyalarini amalga oshirish uchun chipning o'ziga xos tuzilishini hosil qilish uchun olib tashlanishi mumkin.

3. Doping yarimo'tkazgichlarning elektr xususiyatlarini o'zgartirishda muhim qadamdir. Ion implantatsiyasi yoki boshqa usullar, o'ziga xos nopok atomlar (masalan, kremniy, magniy va boshqalar), masalan, CHIP yorug'lik chiqaruvchi funktsiyasini ro'yobga chiqarish uchun. Masalan, magniy (mg) odatda Gallium Nitdid asosidagi dumsiz dipant sifatida ishlatiladi.